MEMS

A l'issue de cet enseignement, l'étudiant sera en capacité de :

• appréhender les techniques de mise en œuvre d'objets mobiles
• comprendre les différentes étapes de conception et d'analyse mécanique du MEMS
• de dimensionner un MEMS devant répondre à des critères de vitesse de commutation, tension de commutation, fiabilité.
• d'extraire un modèle électrique comportemental du MEMS
• d'utiliser le MEMS pour concevoir une fonction RF originale dont les caractéristiues électriques sont accordables.

• MEMS : Qu'est ce que c'est?
• Application des MEMS dans les domaines :
  • Optique
  • Mécatronique
  • Médical
  • RF
• Notions de technologie salle blanche
• Modèle mécanique du MEMS :
  • Modèle Statique
  • Modèle Dynamique
• Modélisation RF du MEMS
• Exemple de procédure de conception d'un MEMS-RF

Projet d'application : Conception d'un système RF accordable utilisant un MEMS en bande V (60GHz)

• Mise en œuvre d'un modèle électromagnétique de MEMS (HFSS)
• Extraction du modèle électrique (ADS) et mise en application d'un modèle paramétrique pour la conception de filtre passe-bande accordable de 60GHz à 40 GHz.
• Définition d'une fonction accordable à imaginer, mettre en oeuvre et valider par la simulation.

Cours de circuits passifs RF, N7EE09B, 2ème annés EEEA, Parcours Electronique